{"id":289,"date":"2025-01-19T11:58:29","date_gmt":"2025-01-19T11:58:29","guid":{"rendered":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/?post_type=news&#038;p=289"},"modified":"2025-01-24T10:52:04","modified_gmt":"2025-01-24T10:52:04","slug":"zuverlassige-und-effiziente-messtechnik-fur-die-fertigung-von-mikroteilen","status":"publish","type":"news","link":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/news\/zuverlassige-und-effiziente-messtechnik-fur-die-fertigung-von-mikroteilen\/","title":{"rendered":"Samco und die OST arbeiten zusammen"},"content":{"rendered":"\n<p><\/p>\n\n\n\n<p>Hinter dem kryptischen Namen \u00abRIE-10NR-Parallelplattenreaktor\u00bb verbirgt sich modernste Technologie \u2013 ein System, das die Mikrostrukturierung von Wafern unterschiedlichster Art erm\u00f6glicht. Zum Einsatz kommt dabei ein spezielles plasmagest\u00fctztes \u00c4tzverfahren, das sogenannte \u00abReactive Ion Etching\u00bb (RIE), das feinste Strukturen auf den Prozessscheiben erm\u00f6glicht. Hersteller dieser Anlagentechnik ist das japanische Unternehmen Samco, ein weltweit f\u00fchrender Anbieter von Halbleiter-Prozessequipment. Samco und das Institut f\u00fcr Mikrotechnik und Photonik (IMP) der OST \u2013 Ostschweizer Fachhochschule gehen nun eine strategische Partnerschaft ein. So ist k\u00fcrzlich das Plasma-\u00c4tzsystem RIE-10NR zusammen mit dem UV-Reiniger UV-2 der Firma Samco im Reinraum des IMP am Standort Buchs installiert und erfolgreich in Betrieb genommen worden.<\/p>\n\n\n\n<p><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Der weltweit anerkannte Anbieter von Halbleiter-Prozessanlagen Samco Inc. und die OST \u2013 Ostschweizer Fachhochschule gehen eine Partnerschaft ein. Das Institut f\u00fcr Mikrotechnik und Photonik der OST erh\u00e4lt dadurch Zugang zu modernster Technologie im Bereich der Waferbearbeitung.<\/p>\n","protected":false},"featured_media":197,"template":"","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categorie":[33],"class_list":["post-289","news","type-news","status-publish","has-post-thumbnail","hentry","categorie-ost"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/news\/289","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/news"}],"about":[{"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/types\/news"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/news\/289\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3482,"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/news\/289\/revisions\/3482"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media\/197"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=289"}],"wp:term":[{"taxonomy":"categorie","embeddable":true,"href":"https:\/\/sensor-hub.emini.art\/en\/wp-json\/wp\/v2\/categorie?post=289"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}